4-fach Sensorchip zur Analyse flüchtiger Kohlenwasserstoffe

Ein mikrostrukturierter Sensorchip wird in Hybrid-Technologie (Elektroden, Heizung in DC-Sputtertechnik - sensitive Schicht in Siebdrucktechnik) aufgebaut, um vier verschiedene mit Zusätzen modifizierte Zinnoxid gassensitive Keramikschichten auf einem Chip zu realisieren (Abb.). Dieser Chip wird nach einem von der IIT-Sensorikgruppe entwickelten Verfahren periodisch beheizt und simultan wird das Sensorsignal (Leitwert) aller vier Sensorschichten gemessen. Aus den resultierenden vier verschiedenen Leitwert-Zeit-Profilen soll über noch zu entwickelnde numerische Analyseverfahren die vorliegende Gasart identifiziert und ihre Konzentration bestimmt werden. Ein weiteres Ziel dieses F+E-Projektes ist es, zu untersuchen, ob der Multisensorchip auch die Analyse einfacher, mehrkomponentiger Mischungen von flüchtigen Kohlenwasserstoffen ermöglicht.
Projektstand Sept. 2001: 4-fach-Elektrodenstruktur auf Aluminiumoxidsubstrat realisiert, Entwicklung verschiedener Pasten zum Druck der sensitiven Schichten ist im Gange.